当前大家对于硅集成电路工艺基础都是颇为感兴趣的，大家都想要了解一下硅集成电路工艺基础，那么小美也是在网络上收集了一些关于硅集成电路工艺基础的一些信息来分享给大家，希望能够帮到大家哦。

1、《硅集成电路工艺基础》由北京大学出版社出版，作者关旭东 。

2、本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺，重点放在工艺物理基础和基本原理上。

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本文到此结束，希望对大家有所帮助。